Microscópio Eletrônico de Varredura - JSM 6360LV – JEOL
O microscópio eletrônico de varredura Jeol JSM 6360LV é equipado com um detector de elétrons secundários (do tipo ETD), que permite obtenção de imagens da morfologia superficial de amostras condutoras, detector de elétrons retroespalhados para alto e baixo vácuo, e que possui contraste de número atômico e um detector de EDS (do tipo SDD) que permite determinação da composição química elementar de amostras condutoras.
- Sistema ótico eletrônico que permite aumentos de 8x com distância de trabalho de 48 mm.
- Resolução máxima de 3,0 nm (Acc 30 kV, Working distance de 8 mm)
- Magnificação: 8x até 300.000x
- Corrente de prova: 1 pA até 1 A
- Tensão de aceleração: 0 V a 30 kV
- Beamblanking.
- Filamento de Tungstênio.
- Foco dinâmico para inclinação da amostra.
- Tamanho máximo de amostra: 150 mm de diâmetro.
- 125 mm de diâmetro totalmente analisável com movimento de rotação.
- Movimentos possíveis das amostras:
- eixo X 80 mm;
- eixo Y 40 mm;
- eixo Z 43 mm;
- inclinação de -10° até 90°;
- rotação de 360° contínua.
- Modo baixo vácuo, com pressão ajustável entre 10 até 270 Pa (apenas imagens de BSE).
- Detector de elétrons secundários Everhart-Thornley (ETD)
- Detector de elétrons retroespalhados (BSE)
- Detector de raios-x por dispersão em energia (EDS)
Coordenação:
Microscopistas:
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Sessão remota:
Microscópio Eletrônico de Varredura – JEOL JSM – 6360LV
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