MEV QUANTA 3D

Microscópio de Varredura, Feixe Duplo, Eletrônico e Iônico - Quanta 3D FEG - Thermo Fisher / FEI

Microscópio de Feixe Duplo FEI Quanta 3D FEG

O microscópio de feixe duplo FEI Quanta 3D FEG é equipado com um canhão de emissão campo (FEG – Field Emission Gun), que permite a utilização estável de grandes densidades de corrente de feixe e uma alta resolução (em torno de 1 nm).

Além do detector de elétrons secundários (do tipo ETD), que proporciona análise da morfologia superficial da amostra, o microscópio conta com um detector de EDS (do tipo SDD), que permite microanálise da composição química de amostras condutoras e obtenção rápida de mapas de composição química.

O microscópio conta ainda com um canhão de íons focalizados (FIB) para produção de lamelas para MET ou amostras para análise em seção transversal por MEV.

Especificações técnicas

  • Canhão de emissão campo com resolução de aproximadamente 2 nm.
  • Faixa de magnificação 100x – 500kx
  • Tensão de aceleração: 500 V – 30 kV
  • Corrente de prova: 1 pA – 200 nA
  • Coluna Sidewinder de feixe de íons de Ga focalizado
  • Tensão de aceleração 5 kV – 30 kV

Detectores

  • Detector de elétrons secundários Everhart-Thornley (ETD)
  • Detector de elétrons retroespalhados (BSE)
  • Detector de raios-x por dispersão em energia (EDS)
  • Detector de difração de elétrons retroespalhados (EBSD)
  • Detector de estado sólido para microscopia eletrônica de transmissão em varredura e baixa tensão de aceleração

Acessórios

  • Agulha injetora de gás organometálico (Pt)
  • Agulha injetora de gás organometálico (C)
  • Agulha nano-manipuladora Omniprobe
  • Estágio motorizado XYZ com rotação e inclinação.

Coordenação:

Prof. Wagner Nunes Rodrigues

Microscopistas:

Henrique Limborço
Wesller Schmidt

Email:

 fib@microscopia.ufmg.br

Sessão remota:

Microscópio de Varredura, Feixe Duplo, eletrônico e iônico – FEI Quanta 3D FEG

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