Vista de seção transversal de um circuito integrado, com mapeamento de composição química por EDS.
Equipamento: Microscópio de feixe duplo FEI Quanta 3D FEG
Imagem obtida por Henrique Limborço, Centro de Microscopia da UFMG
Equipamento: Microscópio de feixe duplo FEI Quanta 3D FEG
Imagem obtida por Henrique Limborço, Centro de Microscopia da UFMG